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奈米檢測技術

作(譯)者:

國研院精密儀器中心

定 價:NT$800
一般會員價:NT$760
一般折扣:95折
供貨狀況:庫存充足
人氣指數: ★★★★★


出版日:2009/4/30
ISBN(10碼):9868140943
ISBN(13碼):9789868140943
書號:10360
654頁 / 16 K / 單色

架上類別:
電子類 >> VLSI技術

機械類 >>  奈米



 

       
奈米材料科技原理與應用(第三版) 奈米科技導論(第三版) 奈米工程概論(第四版) 奈米檢測技術(精裝本)


■ 內容簡介
國家實驗研究院儀器科技研究中心策劃,針對奈米科技在各領域的應用,編撰出版《奈米檢測技術》專書。全書共九章、六百餘頁,內容架構係以整體奈米科技為開端,接續介紹在奈米尺度下如何檢測各種元件和材料奈米結構所具備之力、光、電、磁等性質、儀器設備與關鍵技術,最後則以具前瞻性的奈米檢測技術作為未來的展望。

■ 目錄
序言 vii
編審委員 ix
作者 xi
第一章奈米科技概論 1
1.1前言 1
1.2奈米材料之特性 2
1.3奈米材料之結構 3
1.3.1奈米管 4
1.3.2奈米線 4
1.3.3量子點與量子井 5
1.3.4奈米孔洞材料 5
1.3.5奈米複合物 6
1.4製備技術 6
1.5應用領域 7
1.5.1奈米元件 7
1.5.2磁性元件 8
1.5.3光電元件 8
1.5.4生醫應用 9
1.5.5奈米材料其他應用 9
1.6結論 10
•參考文獻 10
第二章奈米檢測簡介13
2.1概述 13
2.2奈米尺寸與計量單位 14
2.3檢測項目 15
2.3.1尺寸、外觀、粒徑、膜厚及力學特性 15
2.3.2機械特性 15
2.3.3光學特性 16
2.3.4表面結構 17
2.3.5電性 18
2.3.6磁性 19
2.3.7能量 21
2.3.8量子效應 21
2.3.9生物醫學 23
2.4檢測與奈米科技發展關係 24
•參考文獻 24
第三章光子束檢測技術 27
3.1概述 27
3.1.1光的本質-波動與粒子的雙重性 27
3.1.2基於光學波動性質之光學顯微鏡 28
3.1.3影像技術鳥瞰 28
3.1.4突破繞射極限的光學顯微技術 29
3.1.5從空間解析到時間解析 32
3.1.6結語 33
3.2差動共焦顯微術 34
3.2.1基本原理 34
3.2.2技術規格與特徵 35
3.2.3應用與實例 42
3.2.4結語 51
3.3表面電漿子共振顯微術 51
3.3.1引言 52
3.3.2電漿子效應 54
3.3.3表面電漿子強化之螢光顯微術 57
3.3.4表面電漿子相位顯微術 60
3.3.5表面電漿子增強雙光子螢光顯微術 63
3.3.6結論 64
3.4非線性光學-多光子顯微術 64
3.4.1歷史沿革 64
3.4.2基本原理 65
3.4.3多光子顯微鏡的解析度 66
3.4.4應用與實例 67
3.4.5結論 71
3.5螢光光譜分析術 72
3.5.1基本原理 72
3.5.2技術規格與特徵 81
3.5.3螢光激發系統分類 86
3.5.4應用與實例 89
3.5.5結語 93
3.6拉曼光譜顯微術 94
3.6.1歷史 94
3.6.2基本原理 95
3.6.3共焦拉曼光譜顯微術 97
3.6.4掃描近場拉曼光譜顯微術 101
3.6.5探針增強拉曼光譜顯微術 103
3.6.6結論 107
3.7相調反史托克拉曼散射顯微術 108
3.7.1前言 108
3.7.2基本原理 110
3.7.3技術規格 113
3.7.4應用與實例 116
3.7.5結語 122
•參考文獻 122
第四章X 光檢測技術 131
4.1概述 131
4.2 X光繞射分析術 132
4.2.1基本原理 132
4.2.2影響 X光繞射峰的因素 135
4.2.3卷積理論 136
4.2.4技術規格與特徵 146
4.2.5應用與實例 146
4.2.6結語 148
4.3 X光吸收光譜分析術 148
4.3.1基本原理 148
4.3.2技術規格與特徵 153
4.3.3應用與實例 154
4.3.4結語 162
4.4X光光電子光譜法 162
4.4.1簡介 162
4.4.2束縛能 163
4.4.3光電子的動能 169
4.4.4儀器特徵 170
4.4.5光譜特徵 175
4.4.6定量分析 180
4.4.7縱深資訊 181
4.4.8結語 185
4.5小角度X光散射分析術 185
4.5.1基本原理 185
4.5.2技術規格與特徵 197
4.5.3應用與實例 200
4.5.4結語 202
4.6X光螢光分析術及X光全反射螢光光譜分析術 202
4.6.1基本原理 202
4.6.2技術規格與特徵 204
4.6.3應用與實例 209
4.6.4結語 210
4.7X光反射率測量法 211
4.7.1前言 211
4.7.2基本原理 212
4.7.3實驗方法 216
4.7.4程式模擬 218
4.7.5應用實例 222
4.7.6結語 225
4.8X光微聚焦光束技術 225
4.8.1前言 225
4.8.2X光光源 227
4.8.3X光聚焦光學元件 228
4.8.4微聚焦同步輻射光束線 233
4.8.5X光微聚焦光束之應用 236
4.8.6結語 244
•參考文獻 245
第五章離子束檢測技術 253
5.1概述 253
5.2二次離子質譜分析術 254
5.2.1基本原理 254
5.2.2技術規格與特徵 257
5.2.3應用與實例 260
5.2.4結語 267
5.3拉塞福背向散射分析術 268
5.3.1物理背景 268
5.3.2實驗裝置 269
5.3.3工作原理 270
5.3.4參考實例 274
5.3.5能量鑑別 276
5.3.6氫的偵測 277
5.3.7溝渠效應 279
5.3.8結語 283
5.4中能量離子散射分析術 284
5.4.1簡介 284
5.4.2基本原理 285
5.4.3儀器設備 288
5.4.4應用實例 291
5.4.5結語 294
5.5粒子誘發X光分析術 294
5.5.1基本原理 295
5.5.2儀器設備與量測 299
5.5.3應用與實例 303
5.5.4結語 313
•參考文獻 313
第六章電子束檢測技術 317
6.1概述 317
6.2掃描式電子顯微術 318
6.2.1基本原理 319
6.2.2技術規格與特徵 326
6.2.3應用與實例 326
6.2.4結語 328
6.3穿透式電子顯微術 328
6.3.1簡介 328
6.3.2儀器特徵 331
6.3.3影像的對比 336
6.3.4掃描穿透式電子顯微鏡 350
6.3.5結語 353
6.4能量散佈分析術 353
6.4.1前言 353
6.4.2 X光產生原理 353
6.4.3EDS儀器架構 354
6.4.4無感時間 357
6.4.5偽像 358
6.4.6效率 361
6.4.7 EDS量測模式 361
6.4.8定性分析 362
6.4.9定量分析 365
6.4.10能量散佈光譜儀之特徵 367
6.4.11EDS操作參數選擇 369
6.4.12EDS實際應用 370
6.4.13結語 372
6.5電子能量損失光譜分析術 372
6.5.1電子束與原子之間的作用 372
6.5.2EELS構造與偵測原理 373
6.5.3EELS能譜分析 375
6.5.4定量分析 377
6.5.5細微結構 379
6.5.6能量過濾穿透式電子顯微鏡 381
6.5.7空間解析度 384
6.5.8結語 385
6.6低能電子繞射分析術 385
6.6.1基本原理 385
6.6.2低能量電子繞射的理論 387
6.6.3低能量電子繞射的實驗技術 390
6.6.4應用與實例 393
6.6.5結語 395
6.7反射式高能電子分析術 395
6.7.1基本原理 396
6.7.2表面重組結構 399
6.7.3RHEED 振盪現象 400
6.7.4磊晶的應用 402
6.7.5結語 404
6.8奈米歐傑電子能譜表面分析技術 404
6.8.1表面分析的基本觀念 404
6.8.2歐傑電子能譜儀的基本觀念 408
6.8.3應用實例 411
6.9陰極螢光光譜分析術 413
6.9.1基本原理 413
6.9.2技術規格與特徵 414
6.9.3應用與實例 419
6.9.4結語 426
•參考文獻 426
第七章探針檢測技術 431
7.1概述 431
7.2掃描穿隧顯微術 432
7.2.1基本原理 432
7.2.2儀器結構 436
7.2.3超高真空低溫 STM 438
7.2.4場發射 STM 439
7.2.5應用實例 440
7.2.6結語 447
7.3原子力顯微術 448
7.3.1前言 448
7.3.2基本原理 449
7.3.3系統特徵與技術規格 452
7.3.4應用與實例 460
7.3.5結論 464
7.4近場光學顯微術 465
7.4.1基本原理與歷史 465
7.4.2儀器架構 467
7.4.3應用與實例 472
7.4.4新近發展 478
7.4.5結論 481
7.5磁力顯微術 483
7.5.1歷史介紹 483
7.5.2操作原理 484
7.5.3磁針與磁力來源 486
7.5.4磁力與磁力顯微鏡影像模式 492
7.6其他掃描探針顯微術 494
7.6.1電性掃描探針顯微術 494
7.6.2掃描電容顯微術 495
7.6.3掃描電流顯微術 503
7.6.4電力顯微術 508
7.6.5壓電力顯微術 509
7.6.6結語 512
•參考文獻 512
第八章其他檢測方法 519
8.1中子繞射散射儀 519
8.1.1中子繞射簡介 519
8.1.2技術規格與特徵 520
8.1.3基本原理 522
8.1.4應用與實例 525
8.1.5結語 528
8.2奈米壓痕儀 529
8.2.1基本原理 530
8.2.2技術規格與特徵 535
8.2.3應用與實例 538
8.2.4結語 546
8.3表面輪廓儀 547
8.3.1前言 547
8.3.2表面測量相關的發展 548
8.3.3探針型表面輪廓量測 549
8.3.4非接觸式表面形貌量測 552
8.3.5結論 557
8.4石英振盪器在奈米表面吸附分析之應用 558
8.4.1基本原理 558
8.4.2技術規格與特徵 560
8.4.3應用與實例 561
8.4.4結語 562
8.5微懸臂樑於奈微米檢測之應用 563
8.5.1微懸臂樑簡介 563
8.5.2微懸臂樑靜態測試 565
8.5.3微懸臂樑動態測試 572
8.5.4注意事項 577
8.5.5結論 580
8.6光散射法測定粒徑與 zeta 電位 580
8.6.1簡介 580
8.6.2光散射 581
8.6.3電泳光散射法 591
8.6.4結語 598
8.7BET 比表面積分析法 599
8.7.1簡介 599
8.7.2氣體吸附行為與等溫吸附脫附曲線 600
8.7.3BET 表面積的量測原理 603
8.7.4BET 理論適用之範圍 609
8.7.5快速估計材料表面積-單點法 609
8.7.6實際量測過程與注意事項 611
8.7.7結論 612
•參考文獻 612
第九章前瞻性奈米檢測技術 619
9.1結構顯微術 619
9.1.1遠場光學奈米顯微術 619
9.1.2原子探針斷層掃描 625
9.1.3高角度環狀暗場掃描穿透式電子顯微鏡斷層掃描 626
9.2結構特性分析術 627
9.2.1電子奈米繞射 627
9.3光學性質分析術 628
9.3.1近場掃描光學奈微術 628
9.3.2自旋體旋進的激發探測研究 628
9.3.3法拉第旋轉之時間解析 629
9.3.4發冷光的上轉換之時間分析 630
9.4彈性特性分析術 631
9.4.1侷限的聲頻聲子:低頻拉曼散射分析 631
9.4.2奈米團簇的振動態之同步激發-時間解析頻譜儀 632
9.5電子與電的特性分析術 633
9.5.1表面探針顯微技術 633
9.5.2延伸能量損失精細結構 635
9.5.3X光光電子能譜術微探針 635
9.6磁性特性分析術 636
9.6.1硬X光光激發 636
9.7結語 638
•參考文獻 638


 
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